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SK하이닉스 용인 클러스터 건설 현장.(사진=방인권 기자) |
SK하이닉스는 ASML코리아 유한회사로부터 내년 말까지 약 2년 동안 69억1340만유로(약 12조원) 규모의 EUV 스캐너를 취득하기로 결정했다고 24일 공시했다. SK하이닉스 측은 취득 목적에 대해 “차세대 공정 양산 대응을 위한 EUV 장비 확보”라고 밝혔다.
EUV 장비는 10나노급 6세대(1c) D램과 차세대 HBM 공정에 필수적인 장비다. 네덜란드 ASML이 EUV 노광장비 시장을 사실상 독점하고 있는 상황으로, 해당 장비가 없으면 첨단 메모리를 만드는 게 불가능해 글로벌 반도체 제조사들이 장비를 확보하기 위해 줄을 서서 구매할 정도다.
SK하이닉스는 1c DDR5 D램과 LPDDR6 제품을 잇달아 개발하며 미세공정 경쟁력을 확보했다. HBM의 경우 6세대 제품(HBM4)에서는 10나노급 5세대(1b) 공정을 적용했지만, 7세대 HBM4E부터는 1c 공정으로 경쟁력을 끌어올리겠다는 구상이다.
이같은 상황에서 선제적으로 대규모 EUV 장비 반입에 나가면서 HBM 등 인공지능(AI) 메모리 생산능력을 늘려 폭증하는 수요에 대응한다는 계획이다. SK하이닉스가 도입하는 EUV 장비는 청주 M15X 공장과 용인 1기 팹에 적용될 것으로 보인다.
SK하이닉스는 HBM 전용 생산 거점으로 키울 예정인 청주 M15X 공장의 두번째 클린룸을 개방하고 장비 반입을 시작했다. 내년 2월에는 용인 1기 팹 클린룸 가동을 시작할 예정이다. 이같은 상황에서 선제적으로 장비 반입에 나서면서 선단 공정 전환에 속도를 내고, 생산 기반을 확충한다는 계획이다.
SK하이닉스 관계자는 “EUV 기반 선단 공정 전환을 통해 AI 메모리 경쟁력을 강화하고, 범용 메모리 공급도 안정적으로 확대해 나갈 것”이라고 말했다.
